நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள் (Microelectromechanical systems)(MEMS) என்பன மின்னன்,  நகரும் பகுதிகளை உள்ளடக்கிய நுண் கருவிகளின் தொழில்நுட்பமாகும். நுண் மின எந்திர அமைப்புகள்  1 முதல் 100 மைக்ரோமீட்டர் அளவு (அதாவது 0.001 முதல் 0.1மிமீ வரை)  அளவு  உறுப்புகளால் ஆனது.  நுண் மின எந்திர அமைப்புகள் பொதுவாக 20 மைக்ரோமீட்டர்கள் முதல் ஒரு மில்லிமீட்டர் வரை (அதாவது 0.02 முதல் 1.0 மிமீ வரை இருக்கும்) , வரிசைகளில் அமைக்கப்பட்ட  உறுப்புகள் (எ.கா. இலக்கவியல் நுண்தெறிப்புக் கருவிகள் ) 1000 மிமீ 2 அள்வுக்கு மேல் இருக்கலாம்   அவை வழக்கமாக தரவுகளை செயலாக்கும் ஒரு மைய அலகு ( நுண்செயலி போன்ற ஒரு ஒருங்கிணைந்த சுற்று சில்லு), சுற்றுப்புறங்களுடன் தொடர்பு கொள்ளும் பல  உறுப்புகளைக் ( நுண் உணரிகள போன்றவற்றைக்) கொண்டிருக்கும். 

நுண் மின எந்திர அமைப்புகளின்  பெரிய பரப்பு/பருமன் விகிதத்தால், பெரிய அளவு எந்திரக் கருவிகளை விட, சூழல் மின்காந்தவியலும் ( எடுத்துகாட்டாக, நிலைமின் ஊட்டங்கள், காந்தத் திருப்புமைகள்) பாய்ம இயங்கியலும் (எடுத்துகாட்டாக,  பரப்பு இழுவிசை, பிசுபிசுப்பு)  உருவாக்கும் விசைகள் வடிவமைப்பில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. நுண் மின எந்திர அமைப்புகளின் தொழில்நுட்பம்  மூலக்கூற்ரு மீநுண் தொழில்நுட்பங்கள் அல்லது  மூலக்கூற்று மின்னனியலில் இருந்து வேறுபட்டனவாகும்நேனெனில் பின்னவை இரன்டும் பரப்பு வேதியியலையும் கருதுத்ல வேண்டும்.

மிகச்சிறிய இயந்திரங்களின் ஆற்றல், அவற்றை உருவாக்கக்கூடிய தொழில்நுட்பம்  உருவாவதற்கு முன்பே பாராட்டப்பட்டது ( எடுத்துகாட்டாக,  இரிச்சர்ட் ஃபெய்ன்மேனின் புகழ்பெற்ற 1959 விரிவுரை , கீழே உள்ள அறைகள் நிறைய உள்ளன ). மாற்றியமைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்திக் கருவியின் புனைவமைப்புத் தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்திக் கருவிகள் புனையப்பட்டவுடன் நுண் மின எந்திர அமைப்புகள்  நடைமுறைக்கு வந்தது, பொதுவாக மின்னனியல் கருவிகளை உருவாக்க  இது பயன்படுகிறது.  வார்ப்பு, முலாம் பூசுதல், ஈரப் பொறித்தல் ( KOH, TMAH )  உலர் பொறித்தல் ( RIE,  DRIE), மின்னிறக்க  இயந்திரவினை (EDM), சிறிய கருவிகளை   உருவாக்கும் திறன் கொண்ட பிற தொழில்நுட்பங்கள் ஆகியவை இதில் அடங்கும்.

அவை மீநுண் அளவில் மீநுண் மின்  எந்திர அமைப்புகளாகவும் (NEMS.) மற்றும் நானோ தொழில்நுட்பமாகவும் இணைகின்றன.

மேலும் காண்க 

 நுண் மின் எந்திர அமைப்பு  உணரித் தலைமுறைகள்
 நுண் ஒளி மின் எந்திர அமைப்புகள்
 நுண் ஒளி எந்திர அமைப்புகள்
 மீநுண் மின் எந்திர அமைப்புகள் அமைப்புகள்

மேற்கோள்கள்

மேலும் படிக்க 

  நுண், மீநுண் நுட்ப இதழ்
  நுண்ணமைப்புத் தொழில்நுட்பங்கள், வெளியீடு ஸ்பிரிங்கர் பதிப்பகம், இதழ் முகப்பு

வெளி இணைப்புகள் 

காணொளிக் கோப்பு உள்ள கட்டுரைகள்
மின்பொறியியல்
இயந்திரவியல்
nuṇ miṉ èndhira amaibhbhughaḻ (Microelectromechanical systems)(MEMS) èṉbhaṉa miṉṉaṉ,  nagharuṃ bhaghudhighaḻai uḻḻaḍhaghghiya nuṇ gharuvighaḻiṉ dhòl̤ilnuḍhbhamāghuṃ. nuṇ miṉa èndhira amaibhbhughaḻ  1 mudhal 100 maighromīḍhḍhar aḻavu (adhāvadhu 0.001 mudhal 0.1mimī varai)  aḻavu  uṟubhbhughaḻāl āṉadhu.  nuṇ miṉa èndhira amaibhbhughaḻ bhòdhuvāgha 20 maighromīḍhḍharghaḻ mudhal òru millimīḍhḍhar varai (adhāvadhu 0.02 mudhal 1.0 mimī varai irughghuṃ) , varijhaighaḻil amaighghabhbhaḍhḍha  uṟubhbhughaḻ (è.ghā. ilaghghaviyal nuṇdhèṟibhbhugh gharuvighaḻ ) 1000 mimī 2 aḻvughghu mel irughghalāṃ   avai val̤aghghamāgha dharavughaḻai jhèyalāghghuṃ òru maiya alaghu ( nuṇjhèyali bhoṉṟa òru òruṅghiṇaindha jhuṟṟu jhillu), jhuṟṟubhbhuṟaṅghaḻuḍhaṉ dhòḍharbhu ghòḻḻuṃ bhala  uṟubhbhughaḻaigh ( nuṇ uṇarighaḻa bhoṉṟavaṟṟaigh) ghòṇḍhirughghuṃ. 

nuṇ miṉa èndhira amaibhbhughaḻiṉ  bhèriya bharabhbhu/bharumaṉ vighidhadhdhāl, bhèriya aḻavu èndhiragh gharuvighaḻai viḍha, jhūl̤al miṉghāndhaviyaluṃ ( èḍhudhdhughāḍhḍhāgha, nilaimiṉ ūḍhḍhaṅghaḻ, ghāndhadh dhirubhbhumaighaḻ) bhāyma iyaṅghiyaluṃ (èḍhudhdhughāḍhḍhāgha,  bharabhbhu il̤uvijhai, bhijhubhijhubhbhu)  uruvāghghuṃ vijhaighaḻ vaḍhivamaibhbhil bhayaṉbhaḍhudhdhabhbhaḍhughiṉṟaṉa. nuṇ miṉa èndhira amaibhbhughaḻiṉ dhòl̤ilnuḍhbhaṃ  mūlaghghūṟru mīnuṇ dhòl̤ilnuḍhbhaṅghaḻ alladhu  mūlaghghūṟṟu miṉṉaṉiyalil irundhu veṟubhaḍhḍhaṉavāghuṃneṉèṉil bhiṉṉavai iraṉḍhuṃ bharabhbhu vedhiyiyalaiyuṃ gharudhudhla veṇḍhuṃ.

mighajhjhiṟiya iyandhiraṅghaḻiṉ āṟṟal, avaṟṟai uruvāghghaghghūḍhiya dhòl̤ilnuḍhbhaṃ  uruvāvadhaṟghu muṉbhe bhārāḍhḍhabhbhaḍhḍhadhu ( èḍhudhdhughāḍhḍhāgha,  irijhjharḍh fèyṉmeṉiṉ bhughal̤bhèṟṟa 1959 virivurai , ghīl̤e uḻḻa aṟaighaḻ niṟaiya uḻḻaṉa ). māṟṟiyamaighghabhbhaḍhḍha ghuṟaighghaḍhadhdhigh gharuviyiṉ bhuṉaivamaibhbhudh dhòl̤ilnuḍhbhaṅghaḻaibh bhayaṉbhaḍhudhdhigh gharuvighaḻ bhuṉaiyabhbhaḍhḍhavuḍhaṉ nuṇ miṉa èndhira amaibhbhughaḻ  naḍhaimuṟaighghu vandhadhu, bhòdhuvāgha miṉṉaṉiyal gharuvighaḻai uruvāghgha  idhu bhayaṉbhaḍhughiṟadhu.  vārbhbhu, mulāṃ bhūjhudhal, īrabh bhòṟidhdhal ( KOH, TMAH )  ular bhòṟidhdhal ( RIE,  DRIE), miṉṉiṟaghgha  iyandhiraviṉai (EDM), jhiṟiya gharuvighaḻai   uruvāghghuṃ dhiṟaṉ ghòṇḍha bhiṟa dhòl̤ilnuḍhbhaṅghaḻ āghiyavai idhil aḍhaṅghuṃ.

avai mīnuṇ aḻavil mīnuṇ miṉ  èndhira amaibhbhughaḻāghavuṃ (NEMS.) maṟṟuṃ nāṉo dhòl̤ilnuḍhbhamāghavuṃ iṇaighiṉṟaṉa.

meluṃ ghāṇgha 

 nuṇ miṉ èndhira amaibhbhu  uṇaridh dhalaimuṟaighaḻ
 nuṇ òḻi miṉ èndhira amaibhbhughaḻ
 nuṇ òḻi èndhira amaibhbhughaḻ
 mīnuṇ miṉ èndhira amaibhbhughaḻ amaibhbhughaḻ

meṟghoḻghaḻ

meluṃ bhaḍhighgha 

  nuṇ, mīnuṇ nuḍhbha idhal̤
  nuṇṇamaibhbhudh dhòl̤ilnuḍhbhaṅghaḻ, vèḻiyīḍhu sbhiriṅghar bhadhibhbhaghaṃ, idhal̤ mughabhbhu

vèḻi iṇaibhbhughaḻ 

ghāṇòḻigh ghobhbhu uḻḻa ghaḍhḍhuraighaḻ
miṉbhòṟiyiyal
iyandhiraviyal
நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள்