இட்ரியம் ஆக்சிபுளோரைடு (Yttrium oxyfluoride) என்பது YOF என்ற மூலக்கூறு வாய்ப்பாட்டால் விவரிக்கப்படும் ஒரு கனிமச் சேர்மம் ஆகும்.சாதாராண சுற்றுச்சூழல் நிபந்தனைகளில் இது நிறமற்ற திண்மமாகக் காணப்படுகிறது.

தயாரிப்பு 
இட்ரியம் புளோரைடின் படிகநிலை நீரேற்றை வெற்றிடத்தில் 900 பாகை செல்சியசு வெப்பநிலைக்கு சூடுபடுத்தினால் இட்ரியம் ஆக்சிபுளோரைடு உருவாகிறது.  
2 * 1/2 →  +  + 2
இட்ரியம் புளோரைடை 800 பாகை செல்சியசு வெப்பநிலையிலுள்ள மீவெப்ப நீராவியினைக் கொண்டு நீராற்பகுப்புக்கு உட்படுத்தும்போதும்  இட்ரியம் ஆக்சிபுளோரைடு உருவாகிறது. 
YF3 + H2O → YOF + 2HF

பண்புகள் 
இட்ரியம் ஆக்சிபுளோரைடு நாற்கோண படிகத் திட்டத்தில் a = 0.3910 நானோமீட்டர், c = 0.5431 நானோமீட்டர் என்ற கூடு அளவுகள் கொண்ட நிறமற்ற படிகங்களாக உருவாகிறது. அறுகோண படிகத்திட்டதின்படி a = 0.38727 நானோமீட்டர், c = 1.897 நானோமீட்டர், அணு எண் (Z) = 6.  என்ற கூடு அளவுருக்கள் கொண்ட படிகமாக உருவாகிறது

பயன்பாடுகள் 
நிலையான இட்ரியம் ஆக்சிபுளோரைடு சேர்மம், பிளாஸ்மா செயல்முறை சாதனங்களின் உட்சுவர்களுக்காக பயன்படுத்தப்படுகிறது.

மேற்கோள்கள்  

இட்ரியம் சேர்மங்கள் ஆக்சிசன் சேர்மங்கள் புளோரின் சேர்மங்கள் கனிம வேதியியல் சேர்மங்கள்
iḍhriyaṃ āghjhibhuḻoraiḍhu (Yttrium oxyfluoride) èṉbhadhu YOF èṉṟa mūlaghghūṟu vāybhbhāḍhḍhāl vivarighghabhbhaḍhuṃ òru ghaṉimajh jhermaṃ āghuṃ.jhādhārāṇa jhuṟṟujhjhūl̤al nibhandhaṉaighaḻil idhu niṟamaṟṟa dhiṇmamāghagh ghāṇabhbhaḍhughiṟadhu.

dhayāribhbhu 
iḍhriyaṃ bhuḻoraiḍhiṉ bhaḍhighanilai nīreṟṟai vèṟṟiḍhadhdhil 900 bhāghai jhèljhiyajhu vèbhbhanilaighghu jhūḍhubhaḍhudhdhiṉāl iḍhriyaṃ āghjhibhuḻoraiḍhu uruvāghiṟadhu.  
2 * 1/2 →  +  + 2
iḍhriyaṃ bhuḻoraiḍhai 800 bhāghai jhèljhiyajhu vèbhbhanilaiyiluḻḻa mīvèbhbha nīrāviyiṉaigh ghòṇḍhu nīrāṟbhaghubhbhughghu uḍhbhaḍhudhdhuṃbhodhuṃ  iḍhriyaṃ āghjhibhuḻoraiḍhu uruvāghiṟadhu. 
YF3 + H2O → YOF + 2HF

bhaṇbhughaḻ 
iḍhriyaṃ āghjhibhuḻoraiḍhu nāṟghoṇa bhaḍhighadh dhiḍhḍhadhdhil a = 0.3910 nāṉomīḍhḍhar, c = 0.5431 nāṉomīḍhḍhar èṉṟa ghūḍhu aḻavughaḻ ghòṇḍha niṟamaṟṟa bhaḍhighaṅghaḻāgha uruvāghiṟadhu. aṟughoṇa bhaḍhighadhdhiḍhḍhadhiṉbhaḍhi a = 0.38727 nāṉomīḍhḍhar, c = 1.897 nāṉomīḍhḍhar, aṇu èṇ (Z) = 6.  èṉṟa ghūḍhu aḻavurughghaḻ ghòṇḍha bhaḍhighamāgha uruvāghiṟadhu

bhayaṉbhāḍhughaḻ 
nilaiyāṉa iḍhriyaṃ āghjhibhuḻoraiḍhu jhermaṃ, bhiḻāsmā jhèyalmuṟai jhādhaṉaṅghaḻiṉ uḍhjhuvarghaḻughghāgha bhayaṉbhaḍhudhdhabhbhaḍhughiṟadhu.

meṟghoḻghaḻ  

iḍhriyaṃ jhermaṅghaḻ āghjhijhaṉ jhermaṅghaḻ bhuḻoriṉ jhermaṅghaḻ ghaṉima vedhiyiyal jhermaṅghaḻ
இட்ரியம் ஆக்சி புளோரைடு