يتم استخدام مقاييس ايون في فراغ ultrahigh. وهي تاتي في نوعين:  كاثود حار و الكاثود الباردة. في النسخة الكاثود الساخنة, تنتج خيوط ساخنة كهربائية كهربائية شعاع الكتروني. وهي تسافر من خلال مقياس و تاينا جزيئات الغاز من حولها. يتم جمع ايونات الناجمة عن ذلك في القطب الكهربائي السلبي. يعتمد التيار على عدد ايونات, والتي تعتمد على الضغط في مقياس. مقاييس الكاثود الساخنة دقيقة من 10-3 tbd الى 10-10 tbd. ان مبدا اصدار الكاثود الباردة هو نفسه, باستثناء ان الالكترونيات تنتج في تفريغ يخلق من قبل تفريغ كهربائي عالي الجهد. مقاييس الكاثود الباردة دقيقة من 10-2 tbd الى 10-9 tbd. معايرة قياس التاين حساسة جدا ل هندسة البناء, والتركيب الكيميائي للغزات التي يتم قياسها, والتاكل والو الودائع السطحية. ويمكن ابطال معايرةها عن طريق التفعيل عند الضغط الجوي او الفراغ المنخفض. عادة ما لا يمكن التنبؤ بتكوين الغازات عند الفراغات العالية, لذا يجب استخدام مطياف الكتلة بالتزامن مع مقياس التاين للقياس الدقيق.
لماذا يجب استخدام مطياف الكتلة مع قياس لكي يكون دقيق في قياس غاز الفراغ العالي?
تكوين الغازات عند الفراغ العالي لا يمكن التنبؤ به