في صناعة اشباه الموصلات, يمكن استخدام ضوء الاشعة تحت الحمراء لوصف المواد مثل الافلام الرقيقة وهياكل الخنادق الدورية. ومن خلال قياس الانعكاس الضوء من سطح رقاقة اشباه الموصلات, يمكن تحديد مؤشر الانكسار (ن) و معامل الانقراض (ك) من خلال معادلات تشتت forouhi-يعطر. ويمكن ايضا استخدام الانعكاس من ضوء الاشعة تحت الحمراء لتحديد البعد الحرجة, والعمق, والزاوية الجانبية من هياكل الخنادق ذات نسبة الارتفاع العالية.
ما هي الانعكاس التي يتم قياسها من سطح رقاقة اشباه الموصلات لتحديد مؤشر الانكسار?
الضوء