En la industria de semiconductores, la luz infrarroja se puede utilizar para caracterizar materiales como las películas finas y las estructuras de trench periódicas. mediante la medición de la reflectancia de la Luz de la superficie de una oblea de semiconductores, el índice de refracción (n) y el coeficiente de extinción (k) se pueden determinar a través de las ecuaciones de dispersión forouhi-Bloomer. Los reflectancia de la luz infrarroja también pueden ser utilizados para determinar la dimensión crítica, profundidad y ángulo flanco de las estructuras de trench de alto aspecto.
Qué reflectancia se mide desde la superficie de una oblea de semiconductores para determinar el índice de refracción?
Luz