En la industria de semiconductores, la luz infrarroja se puede utilizar para caracterizar materiales como las películas finas y las estructuras de trench periódicas. mediante la medición de la reflectancia de la Luz de la superficie de una oblea de semiconductores, el índice de refracción (n) y el coeficiente de extinción (k) se pueden determinar a través de las ecuaciones de dispersión forouhi-Bloomer. Los reflectancia de la luz infrarroja también pueden ser utilizados para determinar la dimensión crítica, profundidad y ángulo flanco de las estructuras de trench de alto aspecto.
Junto con la dimensión crítica y la profundidad, qué puede utilizar la luz infrarroja para determinar en lo que respecta a las estructuras de trench de alto aspecto?
ángulo flanco