आयन गेज का उपयोग ultrahigh वैक्यूम में किया जाता है । वे दो प्रकार में आते हैं:  गर्म कैथोड और ठंडा कैथोड. गर्म कैथोड संस्करण में एक विद्युत गर्म फिलामेंट एक इलेक्ट्रॉन बीम पैदा करता है । इलेक्ट्रॉनों की यात्रा गेज और ionize गैस अणुओं के माध्यम से उनके चारों ओर है । परिणामी आयनों को एक नकारात्मक इलेक्ट्रोड पर एकत्रित किया जाता है । वर्तमान आयनों की संख्या पर निर्भर करता है, जो गेज में दबाव पर निर्भर करता है । हॉट कैथोड गेज 10 से 3 तक सटीक हैं । 10 से 10 तक । ठंड कैथोड संस्करण के पीछे का सिद्धांत एक ही है, सिवाय इसके कि इलेक्ट्रॉनों को एक उच्च वोल्टेज विद्युत निर्वहन द्वारा बनाए गए निर्वहन में उत्पादित किया जाता है । कोल्ड कैथोड गेज 10 − 2 torr से 10 − 9 torr तक सटीक हैं । आयनीकरण गेज अंशांकन निर्माण ज्यामिति के लिए बहुत संवेदनशील है, गैसों की रासायनिक संरचना मापा जा रहा है, संक्षारण और सतह जमा । उनके अंशांकन को वायुमंडलीय दबाव या कम वैक्यूम पर सक्रियण से अमान्य किया जा सकता है । उच्च निर्वात में गैसों की रचना आमतौर पर अप्रत्याशित होगी, इसलिए एक मास स्पेक्ट्रोमीटर को सटीक माप के लिए आयनीकरण गेज के साथ संयोजन में इस्तेमाल किया जाना चाहिए ।
एक गेज में आयनों की संख्या को क्या प्रभावित करता है?
गेज में दबाव