In der Halbleiter-Industrie kann Infrarot-Licht verwendet werden, um Materialien wie dünne Filme und periodische Graben zu charakterisieren. Durch die Messung des Reflexion von Licht aus der Oberfläche einer Halbleiter kann der Index der Brechung (n) und der Aussterben (k) über die Forouhi-Bloomer-Dispersion ermittelt werden. Der Reflexion aus dem Infrarot-Licht kann auch verwendet werden, um die kritische Dimension, Tiefe und Seitenwand-Winkel der hohen Seitenverhältnis-Strukturen zu bestimmen.
Welcher Brief stellt den Index der Brechung dar?
n