Ionen-Messgeräte werden im Vakuum-Vakuum verwendet. Sie kommen in zwei Arten:  heiße Kathode und kalte Kathode. In der Hot-Kathode-Version erzeugt ein elektrisch beheizt Filament einen Elektron-Strahl. Die Elektronen reisen durch das Messgerät und ionisieren Gas-Moleküle um sie herum. Die entstehenden Ionen werden bei einer negativen Elektrode gesammelt. Die Strömung hängt von der Anzahl der Ionen ab, die von dem Druck in der Spurweite abhängig sind. Scharfe Kathode sind von 10 − 3 Torr bis 10 − 10 Torr genau. Das Prinzip hinter der kalt-Version ist das gleiche, außer dass Elektronen in einer Entlastung hergestellt werden, die durch eine elektrische Entladung erzeugt wird. Kalte Kathode sind von 10 − 2 Torr bis 10 − 9 Torr genau. Die Kalibrierung von Ionisation ist sehr empfindlich auf die Bau, die chemische Zusammensetzung der Gase, die Korrosion und die Oberfläche. Ihre Kalibrierung kann durch Aktivierung bei atmosphärischen Druck oder niedrigem Vakuum entkräftet werden. Die Zusammensetzung von Gasen bei hohen Saugern wird in der Regel unberechenbar sein, so dass ein Masse in Verbindung mit der Ionisation für eine genaue Messung verwendet werden muss.
Was muss für die genaue Messung der Zusammensetzung von Gasen bei einem hohen Saugern verwendet werden?
Masse in Verbindung mit der Ionisation