离子测量仪在超高真空中使用. 他们有两种类型.热阴极和冷阴极.在热阴极版本中, 电加热丝丝产生一个电子束. 电子旅行通过测量器和电离气体分子周围的气体分子. 由此产生的离子是在一个负电极上收集的. 目前取决于离子的数量, 这取决于测量的压力. 热阴极测量仪是准确的, 从10-3托到10-10托. 冷阴极版本背后的原则是一样的, 除了电子是在一个高压放电产生的放电中产生的. 冷阴极测量仪从10-2到10-9, 准确无误. 电离测量校准对建筑几何, 测量气体的化学成分, 腐蚀和表面沉积非常敏感. 他们的校准可以通过在大气压或低真空中激活而失效. 高真空气体的成分通常是不可预测的, 所以一个质量光谱仪必须与电离测量器一起使用, 以准确测量.
这两种离子仪表是什么?
热阴极和冷阴极.