Alpha AXP
Prosesor ini mampu melakukan empat instruksi setiap siklus detaknya (ini berarti dua kali kecepatan Alpha 21064). Selain unit-unit yang tersedia di dalam 21064 (jumlah dan pipeline-nya pun sama), prosesor ini juga menambahkan satu unit lagi yang digunakan untuk mengatur cache Level-2 dan Level-3. Perbedaan lainnya adalah unit manajemen memori yang disertakan di dalam 21164 memiliki Translation lookaside buffer 48 entri untuk mengakses instruksi, sementara untuk mengakses data memiliki 64 entri.