Alpha AXP
Cache level-1 masih tidak berubah (sama seperti Alpha 21064), tetapi prosesor ini telah mengintegrasikan cache level-2 ke dalam inti prosesor sebesar 96 Kbyte, yang bersifat 3-way set associative dan memiliki ukuran block 64 byte. Selain dua level cache tersebut, cache prosesor ini juga dapat dikonfigurasikan menjadi tiga level, dengan cache level-3 berasal dari tambahan SRAM yang berkapasitas mulai dari 1024 Kbyte hingga 65536 Kbyte.