Fotolitografi
4. Pengaturan dan penyinaran
Penyinaran wafer dapat dilakukan dengan cara: 
- "Contact printing": meletakkan "mask" secara langsung di atas "wafer"
- "Proximity printing": meletakkan "mask" sedikit di atas "wafer"
- "Projection printing": memproyeksikan "mask" ke "wafer" menggunakan lensa atau cermin